功能材料领域
FUNCTIONAL MATERIALS

依托材料合成与制备技术积累的综合研发实力,为不同领域客户研发领先市场的功能材料产品。

  公司靶材研发生产线具有多品种综合优势,致力于新型薄膜科技与发展的需求,已成功研发并供应各大高校、研究院所、直接生产运营商等新型靶材上千种,产品销往欧洲、美国、日本、台湾等国家和地区,年产值超1500万。


  该团队研发综合能力突出,产品运用领域广泛,主要覆盖透明导电薄膜(AZO、IZO、IGZO、ITO等)、薄膜电阻、相变存储薄膜材料(SeAsGe等)、高温防护涂层(TiB2、WC、TiN)以及光电子、微电子、汽车电子(NiCrTaAl)、锂电池(Li3PO4、Li2SiO3)、扩散阻挡层(W/Ti合金)等相关领域;在热障涂层用系列靶材(ZrO2/Y2O3,Gd2Zr2O7)、新型透明导电氧化物靶材(Cd2SnO4)、高纯化合物半导体靶材、高纯高密靶材(B4C,HfO2)、半导体领域用耐磨防护涂层(类金刚石薄膜用Si/C靶材,SiC靶材)等领域已成功研发系列产品。目前,生产线年产能上万片,总产量可达8吨左右。


靶材产品概览如下:



靶材=氧化物.jpg


         注:此表为氧化物的汇总

       尺寸 (1"~18" dia x2~15mm th;  18"x5"x2~15mm; 12"x8"x2~15mm 等)


靶材-B-N.jpg

Baidu
map